综合信息
【公开课】2024年第45期 集成电路制造技术与工艺实践

 

为进一步加强核心课程建设,提高青年教师教学能力和课堂教学质量,特邀戴显英教授从教学理念、教学设计、教学组织与实施等方面开展公开课,并同参培教师就相关内容交流研讨。

内容:氧化是集成电路制造的重要工艺技术,是硅器件与集成电路平面工艺的关键。本次课程将采用混合式教学模式,通过线上自主学习与测试,线下课堂教学、小组研讨与随堂测试等教学手段,使学生深刻理解氧化工艺的原理和氧化生长模型,熟悉氧化工艺的干氧、湿氧、掺氯氧化等技术特性,掌握氧化工艺技术的计算模型和应用,了解当前氧化工艺技术的发展动态和前沿技术,并能够综合运用氧化工艺原理分析和解决集成电路制造的相关复杂工艺问题。

时间:4月3日星期三10:25-12:00

地点:南校区C-110教室

主讲人:戴显英 教授

面向对象:集成电路学部专任教师;其他感兴趣的教师。

其他:全程参培并签到可记教师教学培训2学时。

集成电路学部

2024年3月29日

课程简介

通过《集成电路制造技术与工艺实践》课程的教学,使学生能了解当前集成电路工艺的发展动态和前沿技术,深刻理解现代集成电路制造的工艺原理与方法,熟练掌握微纳集成电路制造的先进工艺特征与先进工艺流程,领会工艺技术与集成电路设计的关系,具备较强集成电路工艺的设计能力,能够综合运用集成电路工艺原理分析和解决工艺相关复杂工程问题,为将来从事集成电路设计和制造等技术工作奠定坚实的基础。

主讲人简介

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戴显英,西电集成电路学部教授,博士生导师,微电子科学与工程专业负责人和课程思政首席教授。戴显英教授从事高等教育教学42年,主讲《集成电路制造技术》系列课程20年,负责的《集成电路制造技术与工艺实践》课程获陕西省线上线下混合一流课程。主持了“集成电路制造技术”课程思政示范课程、“集成电路制造技术”教材等教改项目,提出了“多模式全过程西电红色基因特色课程思政”等教学创新,“集微成著用芯圆梦”课程思政案例在新华网展播和推广。获第四届全国高校混合式教学创新设计大赛设计之星奖、校本科教学创新一等奖、校本科优质教学奖一等奖、校教学成果二等奖、校优秀课程思政教学案例二等奖。